Projekte pro Jahr
Details zu Ausstattungen/Einrichtungen
DFG-Gerätegruppenschlüssel
- Spezielle physikalische Geräte / Spezielle physikalische Versuchsaufbauten / 0910 Geräte für Ionenimplantation und Halbleiterdotierung
Projekte
- 1 Laufend
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Automatisiertes und durchsatzstarkes Elektronen-Strahllithografie-System
Wurz, M. C. (Projektleiter*in (Principal Investigator))
1 Apr. 2024 → 31 Dez. 2026
Projekt: Forschung