Details zu Ausstattungen/Einrichtungen
Beschreibung
Aufdampfanlage für Runde Wafer bis 100 mm Durchmesser, 4-fach Tiegel und Einzeltiegel, Co-Verdampfen (BALZERS BAK 610)
Elektronenstrahlverdampfer Balzers BAK 610
- Oliver Kerker (Gerätemanagement)
Ausstattung/Einrichtung: Gerät