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FIB-Rasterelektronenmikroskop

Forschungsinfrastruktur/Equipment: Großgerät

    Details zu Ausstattungen/Einrichtungen

    Beschreibung

    Feldemitter-Rasterelektronenmikroskop mit FIB (Focussed Ion Beam), EBSD, EDX

    Details

    Name/BezeichnungAuriga
    Erwerbszeitpunkt1 Jan. 2014
    HerstellerCarl Zeiss AG

    DFG-Gerätegruppenschlüssel

    • Optik, Elektronenoptik / Elektronenoptische Geräte / 5120 Rasterelektronenmikroskope (Auflicht), mit Feldemissionskathode