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HMDS-Hotplate Süss VP8 T/BM
Oliver Kerker
(Gerätemanagement)
Laboratorium für Nano- und Quantenengineering (LNQE)
Ausstattung/Einrichtung
:
Gerät
Übersicht
Details zu Ausstattungen/Einrichtungen
Beschreibung
HMDS-Hotplate bis 200 mm Waferdurchmesser
Kontaktinformationen
Name
Oliver Kerker