Ionenimplanter Varian VIISta HCS

Oliver Kerker (Gerätemanagement)

Laboratorium für Nano- und Quantenengineering (LNQE)

Ausstattung/Einrichtung: Gerät

Beschreibung

Ionenimplanter für runde Wafer bis 300 mm Durchmesser, auch Solar, As, P, B, 5-60 keV (VARIAN VIISta HCS)

Kontaktinformationen

Name	Jan Krügener, Oliver Kerker