Details zu Ausstattungen/Einrichtungen
Beschreibung
UV Kontakt- und Proximity-Belichter für runde Wafer (Silizium und Germanium) bis 100 mm Durchmesser. Maskengröße 150*150 mm2 quadratisch, minimale Linienbreite 900 nm (SÜSS MA 150 und MA 6)
Ausstattungen/Einrichtungen
-
HMDS-Hotplate Süss VP8 T/BM
Kerker, O. (Gerätemanagement)
Laboratorium für Nano- und Quantenengineering (LNQE)Ausstattung/Einrichtung: Gerät
-
Lackschleuder mit Heizplatte Süss Delta 80, HP8TT
Kerker, O. (Gerätemanagement)
Laboratorium für Nano- und Quantenengineering (LNQE)Ausstattung/Einrichtung: Gerät
-
Mask-Aligner Süss MA 150
Kerker, O. (Gerätemanagement)
Laboratorium für Nano- und Quantenengineering (LNQE)Ausstattung/Einrichtung: Gerät