Details zu Ausstattungen/Einrichtungen
Beschreibung
UV Kontakt- und Proximity-Belichter für runde Wafer (Verbindungshalbleiter) bis 100 mm Durchmesser. Maskengröße 150*150 mm^2 quadratisch, minimale Linienbreite 700 nm (SÜSS MA4/6)
Ausstattungen/Einrichtungen
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Lackschleuder mit Heizplatte Süss Labspin 6
Kerker, O. (Gerätemanagement)
Laboratorium für Nano- und Quantenengineering (LNQE)Ausstattung/Einrichtung: Gerät