Details zu Ausstattungen/Einrichtungen
Beschreibung
UV Kontakt- und Proximity-Belichter für runde Wafer (Silizium und Germanium) bis 100 mm Durchmesser. Maskengröße 150*150 mm2 quadratisch, minimale Linienbreite 900 nm
Details
| Name/Bezeichnung | Süss MA 150 |
|---|---|
| Hersteller | SUSS MicroTec SE |