Mask-Aligner Süss MA 6

Oliver Kerker (Gerätemanagement)

Laboratorium für Nano- und Quantenengineering (LNQE)

Ausstattung/Einrichtung: Gerät

Beschreibung

UV Kontakt- und Proximity-Belichter für runde Wafer (Silizium und Germanium) bis 150 mm Durchmesser. Maskengröße 200*200 mm2 quadratisch, minimale Linienbreite 900 nm

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Name	Oliver Kerker

Mask-Aligner Süss MA 6

Details zu Ausstattungen/Einrichtungen

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