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Multifunktionales Hochleistungs-Ionenstrahlätz- und beschichtungssystem

Ausstattung/Einrichtung: Großgerät

    Details zu Ausstattungen/Einrichtungen

    DFG-Gerätegruppenschlüssel

    • Optik, Elektronenoptik / Elektronenoptische Geräte / 5180 Elektronen- und Ionenstrahl-Quellen