Projekte pro Jahr
Details zu Ausstattungen/Einrichtungen
DFG-Gerätegruppenschlüssel
- Spezielle physikalische Geräte / Spezielle physikalische Versuchsaufbauten / 0910 Geräte für Ionenimplantation und Halbleiterdotierung
Projekte
- 1 Abgeschlossen
-
Nanoimprint-Lithographiesystem
Roth, B. W. (Projektleiter*in (Principal Investigator))
22 Sept. 2020 → 31 Dez. 2021
Projekt: Forschung