Details zu Ausstattungen/Einrichtungen
Beschreibung
Nassbänke zur Reinigung und Strukturierung von Wafern bis 200 mm Durchmesser (auch Solarzellen) durch nasschemische Ätzverfahren.
Ausstattungen/Einrichtungen
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Semitool Spin Rinser Dryer
Kerker, O. (Gerätemanagement)
Laboratorium für Nano- und Quantenengineering (LNQE)Ausstattung/Einrichtung: Gerät