Details zu Ausstattungen/Einrichtungen
Beschreibung
Alcatel RIE für Wafer bis 100 mm Durchmesser, Ätzen unter Ar, O2, SF6 und CHF3
Reaktive Ionenätzanlage RIE (SF6 und CHF3)
- Oliver Kerker (Gerätemanagement)
Ausstattung/Einrichtung: Gerät