Semitool Spin Rinser Dryer

Oliver Kerker (Gerätemanagement)

Laboratorium für Nano- und Quantenengineering (LNQE)

Ausstattung/Einrichtung: Gerät

Beschreibung

Spin Rinser Dryer für Wafer bis 200 mm Durchmesser und Solarzellen 157 mm

Kontaktinformationen

Name	Oliver Kerker