Details zu Ausstattungen/Einrichtungen
Beschreibung
Spektrales Ellipsometer für runde Wafer bis 200 mm Durchmesser (auch Solar), 250-800 nm Wellenlänge, Stage für automatisiertes Mapping der Oberfläche (SENTECH SE 800)
Spektrales Ellipsometer Sentech SE 800
- Oliver Kerker (Gerätemanagement)
Ausstattung/Einrichtung: Gerät