Details zu Ausstattungen/Einrichtungen
Details
| Name/Bezeichnung | Z550 |
|---|---|
| Erwerbszeitpunkt | 1 Jan. 2006 |
| Hersteller | SenVac Anlagenbau & Komponenten GmbH |
Sputteranlage Senvac Z550
- Marc Christopher Wurz (Leitung) &
- Folke Dencker (Leitung)
Forschungsinfrastruktur/Equipment: Gerät