Ultrapräzisionsbearbeitungsmaschine

Das Ultrapräzisionsfräszentrum Kugler Micromaster 5x verfügt über eine lineare X-Achse mit einem Verfahrweg von 300 mm. Das eingesetzte Positionsmesssystem arbeitet mit einem inkrementellen Glasmaßstab und erreicht eine Auflösung von bis zu 0,5 nm. Die bidirektionale Positioniergenauigkeit liegt bei ±0,15 µm, während die Geradheitsabweichung maximal ±0,15 µm pro 300 mm beträgt. Ergänzt wird dies durch eine luftgelagerte C-Achse, die Drehzahlen während der Beabeitung von bis 200 U/min erlaubt. Mit einer Auflösung von 0,02 arcsec erreicht sie einen Rund- und Planlauf von ≤ 3 µm. Zusätzlich bietet die Dreh- und Schwenkeinheit eine Auflösung von 0,018 arcsec, eine Positioniergenauigkeit von ±3 arcsec sowie einen Rund- und Planlauf der Drehachse von < 1 µm.