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Process development for manufacturing blazed gratings using grayscale lithography
Giese, H., de Wall, S. & Wurz, M. C., 2025, MikroSystemTechnik Congress 2025: Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Nachhaltigkeit und Technologiesouveranitat, Proceedings. VDE Verlag GmbH, S. 42-44 3 S.Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review