!!Research output per year
!!Research output per year
-
Production of Aspheric Micro Lens Arrays by a Combination of Selective Laser Induced Etching and Laser Polishing
Wessling, L., Fritze, A. L., de Wall, S., Kassner, A., Dencker, F., Overmeyer, L. & Wurz, M. C., 4 März 2026, Laser-based Micro- and Nanoprocessing XX. Kling, R., Pfleging, W. & Sugioka, K. (Hrsg.). SPIE, 138810J. (Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering; Band 13881).Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review
-
Microtechnological Production of Integrated Optical Gratings Using Laser Beam Lithography for Atomic Interferometers
de Wall, S., Kassner, A., Dencker, F. & Wurz, M., 2023, Tagungsband MikroSystemTechnik Kongress 2023. 3 S.Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung
Open Access -
Performance Comparison of MR Sensors on Silicon and Bare PEEK (Polyether Ether Ketone) Wafers
de Wall, S., Bierwirth, T. N., Wurz, M. & Bengsch, S., 2023.Publikation: Konferenzbeitrag › Poster › Forschung
Open Access -
Anisotropic Magneto-Resistive Sensor Effect based Sensor using Daisy Chain on Polyether Ether Ketone Substrate
De Wall, S., Bengsch, S., Fischer, E., Dencker, F. & Wurz, M. C., 2021, 2021 IEEE Sensors. Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., (Proceedings of IEEE Sensors; Band 2021-October).Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review
Open Access -
Mikrotechnologische Fertigung von integrierten optischen Gittern mittels Lift-Off-Prozess für den Einsatz in Atominterferometern
de Wall, S., Kassner, A., Dencker, F., Künzler, C., Diekmann, L. & Würz, M. C., 2021, MikroSystemTechnik Kongress 2021: Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Innovative Produkte fur zukunftsfahige Markte, Proceedings. VDE Verlag GmbH, S. 466-468 3 S. (MikroSystemTechnik Kongress 2021: Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Innovative Produkte fur zukunftsfahige Markte, Proceedings).Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review
Projekte
- 1 Abgeschlossen
-
QCHIP: Verbundprojekt: Erweiterung der Atomchiptechnologie mittels Oberflächen-Nanostrukturierung zu Quanten Chips (Q-Chips); Teilprojekt 4
Wurz, M. C. (Projektleiter*in (Principal Investigator)), de Wall, S. (Projektmitarbeiter*in) & Dencker, F. (Projektleiter*in (Principal Investigator))
1 Sept. 2019 → 28 Feb. 2026
Projekt: Forschung