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Nanoimprint-Lithographiesystem

Projekt: Forschung

Projektdetails

StatusAbgeschlossen
Tatsächlicher Beginn/ -es Ende22 Sept. 202031 Dez. 2021

Mittelherkunft

  • Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG)
  • Landesförderung

Förderprogramme und -linien

  • Infrastruktur: Forschungsgroßgeräte