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Spitzenmessplatz zur Charakterisierung von mikroelektronischen Systemen

Projekt: Forschung

Projektdetails

StatusAbgeschlossen
Tatsächlicher Beginn/ -es Ende1 Feb. 202130 Juni 2022

Mittelherkunft

  • Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG)
  • Landesförderung

Förderprogramme und -linien

  • Infrastruktur: Forschungsgroßgeräte