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Displacement measurements of technical surfaces with a synchronously pumped external cavity diode laser

  • Jasper Möbius
  • , Jürgen Czarske*
  • , Karsten Moldenhauer
  • , Wolfgang Ertmer
  • , Thomas Müller-Wirts
  • *Korrespondierende*r Autor*in für diese Arbeit

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/KonferenzbandAufsatz in KonferenzbandForschungPeer-Review

Abstract

A novel principle for absolute position measurements of rough surfaces is presented. A measurement object with a rough surface acts as an external reflector for an antireflection coated laser diode. Determining the longitudinal mode spacing yields the distance from the laser diode to the measurement object. Synchronous pumping of the laser diode results in locking of the modes of the built-up Fabry-Perot resonator. Due to resonance enhancement the mode locked external cavity laser sensor allows highly resolved displacement measurements of rough surfaces. The influence of the object as well as the active gain medium on the accuracy of the measurements is investigated by experiments and simulations.

OriginalspracheEnglisch
Titel des SammelwerksOptical Metrology in Production Engineering
Herausgeber (Verlag)SPIE
Seiten12-21
Seitenumfang10
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 10 Sept. 2004
VeranstaltungPhotonics Europe - Strasbourg, Frankreich
Dauer: 26 Apr. 200430 Apr. 2004

Publikationsreihe

NameProceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
Band5457
ISSN (Print)0277-786X

Konferenz

KonferenzPhotonics Europe
Land/GebietFrankreich
OrtStrasbourg
Zeitraum26 Apr. 200430 Apr. 2004

ASJC Scopus Sachgebiete

  • Elektronische, optische und magnetische Materialien
  • Physik der kondensierten Materie
  • Angewandte Informatik
  • Angewandte Mathematik
  • Elektrotechnik und Elektronik

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