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Focus-based automated alignment for laser direct writing

  • Reinhard Caspary*
  • , Lei Zheng
  • , Axel Günther
  • , Bernhard Roth
  • *Korrespondierende*r Autor*in für diese Arbeit

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review

Abstract

We aim to integrate two-photon polymerization (TPP) in a fully digitalized and automated workflow for micro- and nanooptics production. This requires linking the coordinate system of the writing laser scanner to the geometry of the sample or previously fabricated structures on the sample. We developed a fast layer detection algorithm, which determines the axial position and the tilt angles of both interface planes of the photosensitive material using the integrated microscope camera of the TPP system. Furthermore, we identify the shear angles between the camera and the lateral scanner axes. The individual measurement results are stored and accessible via direct-written identification QR code on the sample itself. This is an important step towards an individualized automatic workflow based on digital twins.

OriginalspracheEnglisch
Titel des SammelwerksDigital Optical Technologies 2023
Herausgeber/-innenBernard C. Kress, Jurgen W. Czarske
Herausgeber (Verlag)SPIE
ISBN (elektronisch)9781510664579
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 7 Aug. 2023
VeranstaltungSPIE Digital Optical Technologies - Munich, Deutschland
Dauer: 26 Juni 2023 → 30 Juni 2023

Publikationsreihe

NameProceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
Band12624
ISSN (Print)0277-786X
ISSN (elektronisch)1996-756X

Konferenz

KonferenzSPIE Digital Optical Technologies
Land/GebietDeutschland
OrtMunich
Zeitraum26 Juni 2023 → 30 Juni 2023

ASJC Scopus Sachgebiete

  • Elektronische, optische und magnetische Materialien
  • Physik der kondensierten Materie
  • Angewandte Informatik
  • Angewandte Mathematik
  • Elektrotechnik und Elektronik

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