Equipments Details
Description
UV Kontakt- und Proximity-Belichter für runde Wafer (Silizium und Germanium) bis 100 mm Durchmesser. Maskengröße 150*150 mm2 quadratisch, minimale Linienbreite 900 nm
Mask-Aligner Süss MA 150
- Oliver Kerker (Equipment management)
Facility/equipment: Research Instrumentation