Equipments Details
Description
UV Kontakt- und Proximity-Belichter für runde Wafer (Silizium und Germanium) bis 150 mm Durchmesser. Maskengröße 200*200 mm2 quadratisch, minimale Linienbreite 900 nm
Mask-Aligner Süss MA 6
- Oliver Kerker (Equipment management)
Facility/equipment: Research Instrumentation