Equipments Details
Description
Nassbänke zur Reinigung und Strukturierung von Wafern bis 200 mm Durchmesser (auch Solarzellen) durch nasschemische Ätzverfahren.
Equipment
-
Semitool Spin Rinser Dryer
Kerker, O. (Equipment management)
Laboratory of Nano and Quantum Engineering (LNQE)Facility/equipment: Research Instrumentation